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Februar 2017
Marco Schüler
Methoden zur Funktionsüberwachung von Gassensoren mit Hilfe multimodaler Signale
Ausgehend von einem Ansatz zur Selbstüberwachung, der zwei unterschiedliche Multisignalgewinnungsverfahren kombiniert, werden Messsysteme für die Fourier-basierte Impedanzspektroskopie (FoBIS) aufgebaut und Erkenntnisse zur Zustandsüberwachung von Metalloxidgassensoren gesammelt.
Der temperaturzyklische Betrieb (TCO) mit Messung des Gleichstromwiderstands wurde - ausgehend von neuen Erkenntnissen zur Temperaturzyklusoptimierung - ebenfalls einzeln untersucht. Neben der Zustandsbestimmung, die durch eine hierarchische Klassifikation mit feiner Auflösung (85 ppm*min HMDSO) bei über 97-prozentiger Zuverlässigkeit möglich ist, ermöglicht die Auswertung von Relaxationsprozessen auch eine sehr vergiftungsstabile Gaserkennung.
Schlagwörter: Gassensor; Selbstüberwachung; Impedanzspektroskopie; Temperaturzyklischer Betrieb (TCO); Sensorsignalverarbeitung
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik – Recent Developments in MEMS
Herausgegeben von Prof. Dr. Andreas Schütze und Prof. Dr. Helmut Seidel, Saarbrücken
Band 29
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